奕目(上海)科技有限公司

显微光场成像系统

显微光场成像系统

-半导体芯片3D检测
-生物组织细胞3D检测
服务热线:

021-54473021

相机系列LFM0104系列
相机型号A01B01C01D01E01
视野范围(mm)11.1×7.65.5×3.84.4×3.02.2×1.51.1×0.8
工作距离(mm)56.42025.540.6
景深(mm)30.780.480.120.036
绝对精度(μm)焦平面中心视场X/Y17.99.76.44.41.7
Z*25.27.23.10.90.4
重复精度(μm)焦平面中心视场X/Y0.153.420.110.030.01
Z*0.510.191.010.120.33
深度计算时间38ms~100ms


绝对精度Z*:描述三维相机的测量准确度,系统测得Z轴高度差与真值的偏差 

重复精度Z*:描述在相同条件下对同一Z轴尺寸进行短时间连续测量得到的结果之间的接近程度,以所有测量结果的三倍标准差表示



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